PHEMOS－XC15765－01半導(dǎo)體是濱松推出的新款產(chǎn)品，是一款半導(dǎo)體故障分析系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以借助能見光到近紅外光來解析缺點(diǎn)。之所以能在單個(gè)制定中完成這一點(diǎn)，是由于使用了新款多波長激光掃描儀，應(yīng)用了濱松特有的內(nèi)部光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)。光探測儀是光譜類儀器設(shè)備的“眼睛”，是收集訊號、開展訊號轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵、核心部件，對分析儀行業(yè)的發(fā)展起著巨大的促進(jìn)作用。
濱松方面稱：應(yīng)用濱松內(nèi)部的光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)，大家重新制定了半導(dǎo)體分析系統(tǒng)的內(nèi)部構(gòu)件，列如使用激光束來進(jìn)行掃描半導(dǎo)體元器件的激光掃描儀、定位半導(dǎo)體元器件的光學(xué)臺、寬視場觀察的微距鏡頭等。提高設(shè)備的靈敏度、分辨率、準(zhǔn)確度和易用性，對比現(xiàn)在使用的系統(tǒng)有著很大的提升。
PHEMOS－X是一類半導(dǎo)體問題分析系統(tǒng)，能搭配5個(gè)激光器，輸出波長從可見光到近紅外光不等。PHEMOS－X僅用1臺設(shè)施就可以高靈敏度、高分辨率查出半導(dǎo)體問題。
當(dāng)對半導(dǎo)體設(shè)備增加電壓時(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備中的問題點(diǎn)會(huì)產(chǎn)生光和熱。在對半導(dǎo)體元器件增加電壓時(shí)，用激光束掃描半導(dǎo)體元器件，會(huì)使問題點(diǎn)的電流和工作狀態(tài)產(chǎn)生變化。
借助設(shè)備的這類特性，根據(jù)檢測點(diǎn)增加電壓造成的半導(dǎo)體元器件變化的訊號，開展激光掃描，并將這類訊號以圖像的形式可視化，就可以估計(jì)出問題位置。
濱松補(bǔ)充說，傳統(tǒng)的激光掃描儀是特意為波長為1300nm的近紅外光制定的。＂團(tuán)隊(duì)再次制造了激光掃描儀的光學(xué)系統(tǒng)，以PHEMOS為依據(jù)，它能夠抑制5種激光器中的光學(xué)耗損。＂因而，只需1臺設(shè)施就可以開展半導(dǎo)體問題解析，借助從532nm的能見光到1340nm的近紅外光的多波長激光束。對比以前應(yīng)用波長較短的激光，能夠更具體地觀察半導(dǎo)體元器件。它還能保證高靈敏度，以找尋和觀察功率半導(dǎo)體的問題點(diǎn)，這類問題點(diǎn)對能見光有響應(yīng)，并非一般半導(dǎo)體的紅外光。＂
濱松在發(fā)布消息中透露，PHEMOS－X將于今年4月1日面對日本本土和國際半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商開始售賣。半導(dǎo)體器件會(huì)逐步往更精細(xì)化發(fā)展，以碳化硅和氮化鎵等化學(xué)物質(zhì)為原材料的功率半導(dǎo)體也會(huì)越發(fā)受到關(guān)注，所以急切需要1臺能高效率判斷這些元器件問題所在位置的設(shè)備。
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