頂點(diǎn)商城2022年1月25日消息,位于愛爾蘭萊克斯利普(Leixlip)的英特爾34號(hào)晶圓廠(Fab 34)已經(jīng)接收了首批設(shè)備,最快將在明年正式上線生產(chǎn)。34號(hào)晶圓廠主要生產(chǎn)Intel 4工藝晶圓,也就是7nm工藝晶圓。這意味著英特爾在歐洲的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃得到了進(jìn)一步的落實(shí)。英特爾已經(jīng)率先從ASML獲得了目前還處于研發(fā)階段、世界上最先進(jìn)的高NA EUV光刻機(jī),將用于1.8nm工藝技術(shù)的研發(fā)和生產(chǎn)。
英特爾34號(hào)晶圓廠總共投資了70億美元,是在2019年開始動(dòng)工的,建成之后將使得英特爾在愛爾蘭的晶圓制造能力提升一倍,同時(shí)也為英特爾的歐洲市場(chǎng)提供先進(jìn)工藝的技術(shù)支持。
據(jù)國外相關(guān)媒體報(bào)道,在此次首批接收的設(shè)備中,最先被推入34號(hào)晶圓廠潔凈室的設(shè)備是光刻膠顯影設(shè)備,它的作用是給晶圓精確地加上抗蝕劑涂層,然后才能進(jìn)入EUV光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)和曝光。
正在被推入潔凈室的光刻膠顯影設(shè)備
自從英特爾宣布重返晶圓代工領(lǐng)域后,先進(jìn)工藝研發(fā)和產(chǎn)能擴(kuò)充一直都是其重點(diǎn)關(guān)注的內(nèi)容。此次引進(jìn)新設(shè)備,正是產(chǎn)能擴(kuò)充的第一步。目前,英特爾在美國的新墨西哥州、俄勒岡州、亞利桑那州和俄亥俄州,以及馬來西亞、以色列等國家和地區(qū)新建的晶圓廠的資產(chǎn)總數(shù)已經(jīng)超過了數(shù)百億美元。另外,英特爾計(jì)劃在歐洲再建一座晶圓廠,選址還未最終確定,大概是在意大利、德國和法國中三選一。