頂點光電子商城2022年4月8日消息：中國軌道交通信息技術(shù)研究院，通過自主創(chuàng)新、集成創(chuàng)新以及資源整合，通過3-5年的努力，使一批關(guān)鍵技術(shù)得到突破，一批科技成果在鄭州轉(zhuǎn)化，一批科技人才在鄭州聚集，為鄭州科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型提供堅實支撐。
???? 近日，中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院（以下簡稱“鄭州軌交院”）為鄭州市戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供支撐，努力打造鄭州市軌道交通產(chǎn)業(yè)建設(shè)新名片。
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中國長城鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院歷時一年，在研制新設(shè)備的經(jīng)驗和基礎(chǔ)上，推出全新設(shè)備。
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在研制半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割設(shè)備的經(jīng)驗和基礎(chǔ)上，推出了支持超薄晶圓全切工藝的全自動12寸晶圓激光開槽設(shè)備。
還支持5nm DBG工藝、120微米以下超薄wafer全切割功能、晶圓廠IGBT工藝端相關(guān)制程和TAIKO超薄環(huán)切等各種高精端工藝。
此外，該設(shè)備采用的模塊化設(shè)計，可支持不同脈寬（納秒、皮秒、飛秒）激光器。自主研發(fā)的光學(xué)系統(tǒng)，可實現(xiàn)光斑寬度及長度連續(xù)可調(diào)，配合超高精度運動控制平臺等技術(shù)，解決了激光隱切設(shè)備對表面材質(zhì)、厚度、晶向、電阻率的限制，實現(xiàn)了工藝的全兼容，有效控制產(chǎn)品破損率。
新設(shè)備研發(fā)將帶動鄭州以交通產(chǎn)業(yè)為主的信息安全等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為建設(shè)國家中心城市而努力。
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