紅外圖像傳感器被廣泛應用在生物成像、機器視覺和物質鑒別等高科技領域,是光電傳感的基礎技術。目前,市面上現(xiàn)有的紅外圖像傳感器,由于受到單晶基板工藝和加工溫度等因素的制約,主要采用的是異質集成的技術路徑,來實現(xiàn)紅外波段的光電二極管與硅基讀出電路相連。這種技術路徑雖然能夠解決紅外圖像傳感器的成像問題,但是分辨率提升的空間不大,而且工藝復雜,嚴重影響規(guī)?;a(chǎn),進而導致成本居高不下。
還有一種技術路徑,是采用單片集成的方式,將紅外光電二極管與硅基讀出電路相連。這種技術路徑的工藝更加簡單,可更好的控制成本,同時還有望大幅提升紅外圖像傳感器的分辨率。
提到單片集成工藝,就必須說一說硫化鉛膠體量子點(簡稱PbS CQD)。PbS CQD是一種采用低溫溶液來進行加工的工藝,相比以往采用高溫外延生長出來的紅外材料,襯底的兼容性更好,可以實現(xiàn)與硅基讀出電路的單片集成。
a) 成像芯片整體示意圖;b) 成像芯片橫截面示意圖;c) 成像芯片的橫截面掃描電鏡圖像;d) 成像芯片的俯視示意圖;e) 單個像素的電路圖;f) 電路的讀出時序
但是,采用PbS CQD制作出來的器件,在于硅基讀出電路進行單片集成時,其耗盡區(qū)與入射光相距較遠,這就導致制作出來的紅外圖像傳感器的量子效率很低。
為了解決這個問題,華中科技大學光電國家研究中心和光電信息學院的技術團隊,聯(lián)合海思光電子有限公司,利用PbS CQD技術,研制出了一種采用頂入射結構的光電二極管,專門用來適配硅基讀出電路,最終生產(chǎn)出來的產(chǎn)品可以達到30萬像素,為國內首款采用PbS CQD技術研制出來的,性能達到商用銦鎵砷(InGaAs)圖像傳感器的紅外圖像傳感器。
a) 智能手機(硅基成像芯片)和d) PbS CQD成像芯片在自然光照射下拍攝的蘋果和水圖片;b) PbS CQD成像芯片和e) InGaAs成像芯片在940 nm光照下拍攝的手掌血管的照片;c) 圖b中的紅色虛線(線1和線2)的灰度變化;f) 圖e中的紅色虛線(線1和線2)的灰度變化;g) PbS CQD成像芯片和InGaAs成像芯片在940 nm光照下拍攝的水和乙醇照片(S1和S3為水溶液,S2和S4為乙醇溶液);h) 溶液S1-S4 的歸一化灰度直方圖;i) 不同濃度(25%、50%、75% 和 100%)的酒精的歸一化灰度直方圖
目前,這款PbS CQD紅外圖像傳感器,已經(jīng)完成了在靜脈成像、水果檢測和溶劑識別等應用領域的測試,應用前景有望進一步拓展。