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天芯微首臺(tái)先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備首發(fā)

        頂點(diǎn)光電子商城2022年8月9消息:近日,江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“天芯微”)首臺(tái)先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備首發(fā)儀式在無(wú)錫高新區(qū)舉行。


天芯微首臺(tái)先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備首發(fā)(圖1)


         天芯微成立于2019年8月,是先導(dǎo)集團(tuán)旗下的一家集成電路高端裝備制造商,項(xiàng)目前期投資數(shù)億元,專(zhuān)注于半導(dǎo)體前道關(guān)鍵工藝機(jī)臺(tái)研發(fā),首款產(chǎn)品是IC制造中前道外延設(shè)備,廣泛應(yīng)用于28nm及以下先進(jìn)工藝制程的邏輯芯片代工、3D NAND 存儲(chǔ)產(chǎn)品、以及諸多功率器件的生產(chǎn)制造。團(tuán)隊(duì)核心人員來(lái)自世界知名半導(dǎo)體設(shè)備公司,擁有30多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn),曾主持和參與多款前道工藝設(shè)備的研發(fā)和驗(yàn)證工作等,公司以硅基外延技術(shù)為核心,致力于半導(dǎo)體前道關(guān)鍵工藝設(shè)備的研發(fā)與制造,為集成電路行業(yè)提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)。


          天芯微此次發(fā)布的Epi 300 Compass AP硅基外延減壓設(shè)備是半導(dǎo)體前道工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于功率器件、28nm及以下先進(jìn)制程的邏輯、存儲(chǔ)器件的生產(chǎn)制造。Epi 300 Compass AP的各項(xiàng)性能均達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平,部分核心性能已經(jīng)超過(guò)國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品,并得到了客戶的肯定。