頂點光電子商城2022年9月8消息：近日，上海復(fù)享光學股份有限公司完成了針對刻蝕應(yīng)用場景的光譜儀—ZURO系列產(chǎn)品的研發(fā)與量產(chǎn)導入。
ZURO系列光譜儀匹配半導體行業(yè)標準，滿足針對金屬刻蝕、單多晶硅刻蝕、化合物刻蝕及高速清洗等多個應(yīng)用場景需求，具有信號精準、性能長期穩(wěn)定、Fab生產(chǎn)環(huán)境適應(yīng)等特點。該系列產(chǎn)品具備高靈敏、高信噪比等優(yōu)勢，單幀采集最大動態(tài)范圍突破40000:1，優(yōu)于同類國外產(chǎn)品，能夠有效提取深孔和多晶硅刻蝕過程中的弱信號。
此外，為ZURO系列光譜儀配備的軟件，ideaEPD是一款由復(fù)享光學深入客戶應(yīng)用開發(fā)的Fab工藝專用軟件，支持自定義終點算法、工藝終點分析、高速采樣監(jiān)控、刻蝕深度監(jiān)控等功能，能實現(xiàn)多達10臺腔體的同時監(jiān)控。
復(fù)享光學已完成ZURO系列產(chǎn)品的國產(chǎn)驗證與量產(chǎn)準備，能為客戶進行差異化的定制開發(fā)，解決頭部客戶的關(guān)鍵光學零部件供應(yīng)安全問題。目前，復(fù)享光學的多系列光譜模組產(chǎn)品已經(jīng)獲得多家半導體頭部客戶的驗證、生產(chǎn)導入及小批量訂單。隨著對需求響應(yīng)的不斷深入和工程參數(shù)的持續(xù)優(yōu)化，復(fù)享光學從起量階段逐步進入到放量階段，以光譜硬科技助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
上海復(fù)享光學股份有限公司于2011年6月29日在上海市工商局登記成立。法定代表人殷海瑋，公司經(jīng)營范圍包括光學科技，儀器設(shè)備、新材料、檢測技術(shù)、醫(yī)藥等。本次發(fā)布為集成電路產(chǎn)業(yè)提供了面向6、8、12寸制程刻蝕工藝的光譜檢測解決方案。
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