近日,電科材料6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化工作取得重大進(jìn)展,6英寸中高壓碳化硅外延片月產(chǎn)能力實(shí)現(xiàn)大幅提升。
中電科半導(dǎo)體材料有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電科材料)成立于2019年,是中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司的二級(jí)成員單位,以第一代半導(dǎo)體硅材料、第三代半導(dǎo)體碳化硅材料及新型電子功能材料的研發(fā)、生產(chǎn)、制造為主業(yè)。
碳化硅外延片,指在碳化硅襯底上生長(zhǎng)了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜的碳化硅片,是用于制造高性能半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵材料。電科材料持續(xù)布局第三代半導(dǎo)體外延材料研發(fā)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)一系列技術(shù)突破,在碳化硅外延領(lǐng)域,完成6英寸3300V碳化硅外延材料研發(fā)。
同時(shí),積極與國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商合作開(kāi)發(fā)生產(chǎn)裝備,推動(dòng)碳化硅核心裝備國(guó)產(chǎn)化。
另外,中國(guó)電科55所與一汽聯(lián)合推動(dòng)碳化硅功率器件及模組科技創(chuàng)新,研發(fā)的首款750V碳化硅功率芯片完成樣品流片,首款全國(guó)產(chǎn)1200V塑封2in1碳化硅功率模塊完成A樣件試制。
未來(lái),電科材料將持續(xù)創(chuàng)新突破,推出更多高端碳化硅材料產(chǎn)品,為助力國(guó)內(nèi)新能源汽車(chē)、充電樁、光伏等新興產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展蓄勢(shì)賦能。