頂點光電子商城2024年3月6日消息:近日,美光科技公司計劃率先采用佳能的納米壓印光刻機技術(shù),以進一步降低生產(chǎn)DRAM存儲芯片的單層成本。這一決策標志著納米印刷技術(shù)在半導體生產(chǎn)領(lǐng)域的應用取得了重要進展。
納米壓印光刻技術(shù)是一種先進的制造技術(shù),具有高精度、高效率和高可靠性等特點。與傳統(tǒng)的光學光刻技術(shù)相比,納米壓印光刻技術(shù)能夠以更低的成本實現(xiàn)更高分辨率的圖案轉(zhuǎn)移,從而有效降低DRAM生產(chǎn)過程中的成本。
美光公司在演講中詳細介紹了將納米印刷技術(shù)應用于DRAM生產(chǎn)的一些細節(jié)。他們指出,隨著DRAM節(jié)點的不斷縮小和沉浸式光刻分辨率的問題,添加更多的曝光步驟來取出密集存儲器陣列外圍的虛假結(jié)構(gòu)變得越來越困難。而納米印刷技術(shù)可以以更精細的方式打印出這些圖案,有效解決了這一問題。
盡管納米印刷技術(shù)并不能在內(nèi)存芯片生產(chǎn)的所有階段取代傳統(tǒng)的光刻技術(shù),但它在降低單個技術(shù)操作的成本方面具有重要意義。美光公司表示,納米印刷技術(shù)應用成本僅為沉浸式光刻技術(shù)的五分之一,這將有助于降低DRAM芯片的整體生產(chǎn)成本,提高公司的競爭力。
總之,美光計劃采用佳能的納米壓印光刻機技術(shù),以降低DRAM生產(chǎn)成本。這一決策將為半導體生產(chǎn)領(lǐng)域帶來新的技術(shù)突破,推動行業(yè)的發(fā)展和進步。