頂點光電子商城2022年10月27日消息：近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司宣布：全球第 500 臺 MOCVD 設備順利付運國內(nèi)一家專業(yè)從事 LED 外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。
本批次運付的第 500 臺 MOCVD 設備為中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ?，主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片量產(chǎn)。
Prismo UniMax是MOCVD設備系列新一代產(chǎn)品，該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年，中微公司率先發(fā)布國內(nèi)自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設備Prismo D-BLUE。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5產(chǎn)品。
作為專為高性能 Mini LED 量產(chǎn)而設計的 MOCVD 設備，Prismo UniMax ? 具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點，在同一系統(tǒng)中可配備多達 4 個反應腔，每個反應腔均可實現(xiàn)獨立控制。Prismo UniMax ? 配置了 785mm 大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現(xiàn)同時加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax ? 創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升 LED 波長均勻性。
此次交付是中微公司的一次重要突破，為今后MOCVD產(chǎn)品市場進一步開拓奠定了堅實的基礎。
中微半導體設備（上海）股份有限公司成立于2004年，法定代表人為尹志堯。經(jīng)營范圍包括研發(fā)、組裝集成電路設備、泛半導體設備和其他微觀加工設備及環(huán)保設備，包括配套設備和零配件，銷售自產(chǎn)產(chǎn)品。提供技術咨詢、技術服務。致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。
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