頂點(diǎn)光電子商城2022年10月27日消息:近日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司宣布:全球第 500 臺(tái) MOCVD 設(shè)備順利付運(yùn)國(guó)內(nèi)一家專業(yè)從事 LED 外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。
本批次運(yùn)付的第 500 臺(tái) MOCVD 設(shè)備為中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ?,主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片量產(chǎn)。
Prismo UniMax是MOCVD設(shè)備系列新一代產(chǎn)品,該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年,中微公司率先發(fā)布國(guó)內(nèi)自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE。此后,中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5產(chǎn)品。
作為專為高性能 Mini LED 量產(chǎn)而設(shè)計(jì)的 MOCVD 設(shè)備,Prismo UniMax ? 具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點(diǎn),在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá) 4 個(gè)反應(yīng)腔,每個(gè)反應(yīng)腔均可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制。Prismo UniMax ? 配置了 785mm 大直徑石墨托盤,通過(guò)石墨托盤的不同設(shè)計(jì)配置,最多可實(shí)現(xiàn)同時(shí)加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片,有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外,Prismo UniMax ? 創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng),能精確控制托盤局部區(qū)域溫度,有助于更大程度提升 LED 波長(zhǎng)均勻性。
此次交付是中微公司的一次重要突破,為今后MOCVD產(chǎn)品市場(chǎng)進(jìn)一步開拓奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司成立于2004年,法定代表人為尹志堯。經(jīng)營(yíng)范圍包括研發(fā)、組裝集成電路設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備和其他微觀加工設(shè)備及環(huán)保設(shè)備,包括配套設(shè)備和零配件,銷售自產(chǎn)產(chǎn)品。提供技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)。致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。